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石化、晶圆半导体业放流水新标准

摘要:石化、晶圆半导体业放流水新标准
环保署近日增订石化业、石化专区污水下水道系统、晶圆制造及半导体制造业放流水标准,将氨氮、含氯或含苯等6项挥发性有机物以及DEHP等6项塑化剂列入管制。

环署预估,将减少4000公吨的氨氮排入河川水体,并可督促厂商谨慎处理含氯和含苯等致癌性较显著化合物、与加强制程废溶剂之源头管理。

新增标准将管制石油化学业的河川与海洋管线放流水,其中苯、氯乙烯等6项挥发性有机物质,及DEHP、DNOP、DMP、DEP、DBP、BBP等6种塑化剂的含量均首度设限;若放流水污水排放位于水源、水质或水量保护区,将适用更严格的定氨氮管制限值。

晶圆制造及半导体制造业放流水标准则增订氟盐、氨氮及总毒性有机物管制项目,氨氮同样视是否位于保护区,调整更严格限制值。